除氣體分子、離子和電子外，等離子體中存在電中性原子或原子團(也稱為自由基)，這些原子是受勢能激發(fā)的，處于激發(fā)態(tài)的電中性原子團。其波長短，勢能搞得紫外光在等離子體與材質外表面相互作用中具有重要作用。以下小編分別就等離子體的作用進行介紹。 

      原子團等自由基對材料外表面的反應，由于這些自由基具有電中性，在等離子體中存在時間較長，其數量比離子多，所以自由基在等離子體中起著重要作用。自由基的作用主要是化學反應過程中勢能傳遞的（激）活，處于（激）活狀態(tài)的自由基具有較高的勢能，因此在與材料外表面分子相結合時容易形成新的自由基，新形成的自由基也同樣的處于不穩(wěn)定的高能量形態(tài)，分解反應的可能性很高，在變成小分子的同時形成新的自由基，這種反應過程可以繼續(xù)進行，分解成水、二氧化碳等簡單分子，在其他情況下，自由基與材料外表面分子相結合，形成大量的的相結合勢能，這種勢能又變成引起新表面反應的驅動力，進而引起材料外表面材質的化學反應而被去除。

         電子對材料外表面的作用。材料外表面一方面受撞擊作用，會促使吸附在材料外表面的氣體分子被分解或吸附，另一方面大量的電子碰撞則有助于化學反應。因為電子的質量很小，所以比離子運動得更快。用等離子體處理時，電子到達材料外部表面層的時間早于表面層，并使表面層帶負電荷，這有助于更進一步引起反應。
        小編從微觀上講解了等離子體與材料外表面相互作用。