在太陽能電池制備中plasma等離子清洗表面鈍化和減少死層的影響：
一、plasma等離子清洗表面鈍化
        在太陽能電池制備過程中，考慮到切割過程的存在，要在電池表面生成懸掛鍵。懸掛鍵有著捕捉光生載流子、限定光電流的作用，是太陽能電池能量損失較大的一種方式。等離子體技術(shù)可以用氫離子修復(fù)鈍化電池表面的懸掛鍵，使硅原子恢復(fù)到穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。

二、plasma等離子清洗降低死層的影響
       在擴(kuò)散區(qū)域，因?yàn)椴换钴S的磷原子處于晶格間隙，會導(dǎo)致晶格缺陷。因?yàn)榱缀凸璧脑影霃讲黄ヅ?，高濃度的磷也會?dǎo)致晶格缺陷。因此，在硅電池表面，少數(shù)載流子壽命很低，表面吸收短波光子產(chǎn)生的光生載流子對電池光電流輸出貢獻(xiàn)不大，表面稱為“死層”?！八缹印贝嬖谑遣豢杀苊獾模行┓椒梢杂脕斫档汀八缹印庇绊?。吹掃等離子技術(shù)可以使表面磷原子分布更加均勻，促進(jìn)磷原子的正確定位，從而減少電池表面死層的影響。
      plasma等離子清洗藝參數(shù)是等離子清洗技術(shù)處理的一大特點(diǎn)，使其具有良好的可靠性和再現(xiàn)性，尤其是在工業(yè)生產(chǎn)中。等離子技術(shù)技術(shù)有望在第3代太陽能電池中發(fā)揮重要作用。