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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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誠峰小型crf等離子清洗機(jī)3個方面的使用方法

一、誠峰小型crf等離子清洗機(jī)使用操作流程
1.進(jìn)入“主機(jī)界面”,點擊“下一頁”進(jìn)入“功能畫面”選擇“參數(shù)頁面”修改清洗時間或清(除)清洗數(shù)據(jù)。
2.點擊“下一頁”進(jìn)入“手動頁面”將氧氣氬氣閥門設(shè)置為打開狀態(tài),返回主機(jī)界面。
3.誠峰小型crf等離子清洗機(jī)調(diào)節(jié)功率,功率調(diào)節(jié)范圍80%-100%,根據(jù)實驗需求進(jìn)行調(diào)節(jié)。
4.誠峰小型crf等離子清洗機(jī)將被處理物放置等離子清洗機(jī)真空腔內(nèi),關(guān)好腔門,按下啟動按鈕,開始抽真空。
5.待腔體產(chǎn)生輝光,根據(jù)實驗需求,手動調(diào)節(jié)流量計旋鈕添加輔助性氣體。
6.到達(dá)處理時間后,平衡閥自動復(fù)原,3秒左右恢復(fù)常壓,無進(jìn)氣聲響時,腔門自動打開。
7.打開腔門,取出被處理物,一個處理過程結(jié)束。
溫馨提示:以上各命令都可在鍵下終止,回到復(fù)位狀態(tài)。所有數(shù)字量都可自由調(diào)整,確認(rèn)鍵后記憶保存,斷電不丟。

等離子清洗機(jī)

二、誠峰小型crf等離子清洗機(jī)手動狀態(tài)下運(yùn)行處理的方法:
1.crf等離子清洗機(jī)調(diào)節(jié)功率,功率調(diào)節(jié)范圍80%-100%,根據(jù)實驗需求進(jìn)行調(diào)節(jié)。
2.將被處理物體放置到倉內(nèi),關(guān)好倉門,按下啟動鈕,開始抽真空。
3.真空度達(dá)到要求時,按下射頻電源鈕(打開狀態(tài)為:黃色燈亮“開”),加入射頻高壓,處理過程開始。
4.待腔體產(chǎn)生輝光,根據(jù)實驗需求,打開氧氣氬氣閥門開關(guān)(打開狀態(tài)為:黃色燈亮“開”),手動調(diào)節(jié)流量計旋鈕添加輔助性氣體。
5.到達(dá)處理時間后,復(fù)原平衡閥鈕,3秒左右恢復(fù)常壓,無進(jìn)氣聲響時,腔門自動打開。
6.打開腔門,取出被處理物,一個處理過程結(jié)束。
溫馨提示:在手動狀態(tài)下,可設(shè)定氧氣閥、氬氣閥、真空泵、射頻電源、平衡閥的開關(guān)選擇,進(jìn)行數(shù)據(jù)工作。
三、誠峰小型crf等離子清洗機(jī)使用氣體時需注意的事項:
1.crf等離子清洗機(jī)在觸摸屏的手動畫面打開氣閥;
2.誠峰小型crf等離子清洗機(jī)腔內(nèi)激發(fā)輝光后,再扭開流量計注入;
3.兩路氣體,機(jī)體前面板上的流量計與機(jī)體背面的氣孔口為對應(yīng)一致接入工作。

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